線性精密平臺(tái)是伺服電機(jī)、線性模組、DD電機(jī)及其大理石平板組成，為線形服務(wù)平臺(tái)之復(fù)合型組成，其組成高精度，特性更優(yōu)等特點(diǎn)。由伺服電機(jī)與U型構(gòu)造之線性滑軌組成，應(yīng)用復(fù)合化、輕量與模組化之發(fā)展趨勢，融合高精、高負(fù)荷與高剛度等設(shè)計(jì)構(gòu)思所自主開發(fā)設(shè)計(jì)?？晒?jié)約安裝應(yīng)用室內(nèi)空間與檢修成本費(fèi)；已運(yùn)用在精密五金、半導(dǎo)體設(shè)備與別的必須五金機(jī)械精準(zhǔn)定位的組織上。
 

 

 

線形五金機(jī)械定位平臺(tái)也叫平行線驅(qū)動(dòng)器定位平臺(tái)，關(guān)鍵特性有伺服電機(jī)立即驅(qū)動(dòng)器，找不到正中間傳送階段。優(yōu)勢關(guān)鍵有：構(gòu)造簡易，彎曲剛度高，推重比大，易得到較高的瞬時(shí)速度，無回差空隙，高精度；缺陷具體表現(xiàn)在：抗干擾性差，電動(dòng)機(jī)存有梁端效用，熱管散熱艱難。以便減少對精密度的危害，在電機(jī)定子和動(dòng)子中間裝上氣浮或磁浮滾動(dòng)軸承，來提高伺服電機(jī)的抗干擾性，一起風(fēng)壓氣浮滾動(dòng)軸承的氣旋可帶去造成的一部分發(fā)熱量。對推力起伏效用具備必須的防護(hù)和衰減系數(shù)功效，減少離散系統(tǒng)和不確定性要素系統(tǒng)對的危害，建立系統(tǒng)軟件的近零磨擦。

 

比如XY線性精密平臺(tái)

 

線形五金機(jī)械服務(wù)平臺(tái)根據(jù)氣浮滾動(dòng)軸承支撐板在天然大理石底座上，根據(jù)X-Y 向短行程安排平面圖電動(dòng)機(jī)及驅(qū)動(dòng)器臂，與長行程安排伺服電機(jī)相接，建立線形五金機(jī)械服務(wù)平臺(tái)的長行程安排精準(zhǔn)定位，短行程安排精確測量及健身運(yùn)動(dòng)糾正，協(xié)同建立系統(tǒng)軟件的納米技術(shù)精準(zhǔn)定位的總體目標(biāo)。其關(guān)鍵精確測量設(shè)備——激光干涉儀和光鏡及信號接收器分別安裝在氣浮定位平臺(tái)正下方的支撐架上，菲涅爾透鏡安裝在氣浮定位平臺(tái)上。當(dāng)線形服務(wù)平臺(tái)健身運(yùn)動(dòng)時(shí)，根據(jù)由激光干涉儀構(gòu)成的檢測系統(tǒng)，精確測量氣浮精準(zhǔn)定位操作臺(tái)的勻速直線運(yùn)動(dòng)偏差。試驗(yàn)操作臺(tái)是由每臺(tái)長行程安排伺服電機(jī)來驅(qū)動(dòng)器氣浮操作臺(tái)的長行程安排健身運(yùn)動(dòng)，X-Y 短行程安排伺服電機(jī)進(jìn)行氣浮精準(zhǔn)定位操作臺(tái)的繞Z 軸和沿X、Y 方位的平移；沿Z 向的平動(dòng)精準(zhǔn)定位由其正下方的剛性支撐板調(diào)整系統(tǒng)軟件進(jìn)行。