高精度直線電機(jī)、直線電機(jī)氣浮平臺(tái)、多軸氣浮精密平臺(tái)，在工作中需要實(shí)現(xiàn)亞微米運(yùn)動(dòng)精度。直線電機(jī)氣浮精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)研究了氣浮導(dǎo)軌設(shè)計(jì)和直線電機(jī)控制的關(guān)鍵技術(shù)。采用有限元法對(duì)氣浮導(dǎo)軌進(jìn)行了設(shè)計(jì)。采用該方法設(shè)計(jì)的氣浮導(dǎo)軌具有較高的承載能力和剛度。提出了一種改進(jìn)的PID控制策略，以提高直線電機(jī)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的抗干擾能力，并獲得較高的穩(wěn)態(tài)位置精度。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，采用這種控制方法后，直線電機(jī)懸浮。精密平臺(tái)定位精度可達(dá)到亞微米，甚至納米級(jí)精度要求。

 

   采用雙邊直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的H型氣浮精密定位平臺(tái)，研究了氣浮導(dǎo)軌設(shè)計(jì)方法的關(guān)鍵技術(shù)和雙邊直線電機(jī)的同步運(yùn)動(dòng)控制。采用有限元法對(duì)氣浮導(dǎo)軌進(jìn)行了設(shè)計(jì)。分析了氣膜壓力場(chǎng)的分布。采用預(yù)壓技術(shù)提高空氣浮導(dǎo)軌的承載能力和剛度。靜態(tài)特性試驗(yàn)表明，所研制的定位平臺(tái)氣浮導(dǎo)軌具有較高的承載力和剛度。設(shè)計(jì)了一種改進(jìn)的基于同步速度偏差的并聯(lián)結(jié)構(gòu)同步控制器。通過模糊控制實(shí)現(xiàn)PID參數(shù)的自適應(yīng)在線整定。運(yùn)動(dòng)實(shí)驗(yàn)表明，改進(jìn)后的控制器具有較高的同步控制精度，速度同步精度比一般同步控制高3倍以上，適用于具有強(qiáng)機(jī)械耦合的多電機(jī)同步運(yùn)動(dòng)控制。H型直線電機(jī)氣浮定位平臺(tái)具有承載能力強(qiáng)、精度高等優(yōu)點(diǎn)，可應(yīng)用于光刻機(jī)、光學(xué)檢測(cè)等精密工程領(lǐng)域。

我公司的主要業(yè)務(wù)有：步進(jìn)電機(jī)系統(tǒng)、運(yùn)動(dòng)控制卡、直線電機(jī)、音圈電機(jī)、精密滾珠絲杠直線平臺(tái)、防水電機(jī)、高低溫應(yīng)用、防輻射、真空應(yīng)用步進(jìn)電機(jī)、伺服電機(jī)、海德光柵、耶拿光柵、Renishaw光柵等；并可根據(jù)客戶的各種需求開發(fā)定制化的精密系統(tǒng)集成設(shè)備-音圈電機(jī)平臺(tái)、直線電機(jī)平臺(tái)、氣浮平臺(tái)、氣浮臺(tái)等！